《無塵車間設(shè)計規(guī)范》換氣次數(shù)標(biāo)準(zhǔn)是多少?馬上告訴你!
ISO14644-4 對于無塵車間氣流速度、換氣次數(shù)是明確作為參考資料的,其論點可歸納為:
1、無塵室內(nèi)氣流的橫向擴散只在其低的流速下才有可能,單向流在合理的氣流組織下, 流速0.05?O.lm/s就足夠帶走污染物,在此流速下亞微米粒子的擴散性能遠低于對流性能; 而大于0.36m/s的氣流速度反而易千百萬渦流,引起污染物的再卷入。因此,無塵室的理想自 凈時間什=體積/流率,到一定值后由于污染物的再卷入,再增大氣流速度,實際的Tr并不再 有明顯的減少。
2、末級過濾器的效率對無塵車間潔凈度的影響是值得起注意的。有的氣流速度/換氣次數(shù)推薦或參 考值對末級過濾器效率提高的因素往往沒作考慮。當(dāng)前HEPA/ULPA的效率從99.67%、 99.99%、99.999%、99.9995%直至8個9以上都可選擇。其效率對氣流速度的影響除以 上已提及外,以下方面亦值得引起注意,在非單向流情況下,按衡釋原理的無塵室內(nèi)含塵濃度穩(wěn) 定公式可以得出:
(1) 無塵車間室內(nèi)發(fā)塵量較高時,末級過濾器效率的變化對潔凈度影響甚微,因此在這種情況下, 過高的過濾效率是無必要的;
(2) 無塵車間室內(nèi)發(fā)生塵量較低的情況下,采用低的氣流速度下,末級過濾器效率的變速器變化, 對潔凈度的影響增大。新風(fēng)進末過濾器 前的含塵濃度 1.75x106 個/m3 室內(nèi)發(fā)生量:Gl = 350 個/m3.min G2=3500 l/m3.min G3=35000個/m3.min G4=350000個/m3.min新風(fēng)量對于全空氣量的比率0.03當(dāng)前有 的IC 工廠其ISO5級(0.3pm)的無塵室工程,采用FFU系統(tǒng),帶ULPA(99.9995%,0.12|jm) 出口風(fēng)速為0.38m/s,其滿布率為25%,這樣室內(nèi)平均氣流速度為0.095m/s,在各有關(guān)推 薦或參考值的下限下。此 無塵室工程的工藝加工在微環(huán)境內(nèi)無塵室的人員亦較少,可以認(rèn)為無塵室內(nèi)發(fā)生較低,這種情況下采用低的氣流速度可能是可取的。據(jù)報道,目前 IEST 對無塵室內(nèi)氣 流速度推薦值的下限有所降低,如:<ISO5級:氣流速度0.2~0.5m/s; ISO6級或5級(非 單向流);換氣次數(shù)>200次/h: ISO7級:換氣次數(shù)20?200次/h; ISO8級:換氣次數(shù)2? 20 次/h。
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