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組裝式潔凈室在半導體行業(yè)中的應用

Release Time:2020.09.15 Read:838

5月15日,美國商務部發(fā)表了《商務部針對華為削弱實體清單的努力,限制使用美國技術設計和生產的產品》的文章,正面針對華為公司出臺出口管制,全球半導體生產企業(yè)若為華為生產芯片,均需要獲得美國許可。

 

此規(guī)定對華為以及為華為生產半導體芯片的制造商來說都是巨大打擊,華為公司也針對此次管制發(fā)布聲明,強烈反對美國商務部這種僅針對華為的直接產品規(guī)則修改。中國商務部也表示將采取一切必要措施,堅決維護中國企業(yè)的合法權益。

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近些年,中國半導體行業(yè)發(fā)展迅速,很多晶圓代工廠拔地而起,但作為廠商對美國應用材料和設計、技術的依賴性很強。潔凈室作為半導體行業(yè)生產的所需場所,受半導體晶圓代工廠的興建熱潮的催動,在半導體行業(yè)的應用、市場占比也隨之增加。此次美國針對華為的管制致使臺積電等企業(yè)對華為訂單無能為力,也有可能從側面刺激中國半導體企業(yè)的自強發(fā)展,中芯國際、海思等中資半導體行業(yè)翹楚紛紛加大了技術研發(fā)的占比,盡管道路坎坷,但以華為為代表的中國企業(yè)、中國半導體以及與半導體生產息息相關的潔凈室行業(yè)還是滿懷希望,畢竟只有勝利才是出路。

 

說回到半導體與潔凈室之間的關系,為什么半導體、芯片生產須在潔凈室內生產呢?由于半導體工業(yè)所制作的積體電路元件尺寸越來越小,眾多元件集中在一塊小小的晶片之上,因此在生產過程中須要阻斷外界各種污染源,因為這些雜質、污染源會造成元件性能的劣化及可靠度降低,導致芯片良率下降,所以在半導體芯片的制作過程中須要在一個潔凈度管控的環(huán)境之中。

 

德信致遠組裝式潔凈室


那么,潔凈室是如何隔斷污染源,確保半導體的生產環(huán)境是潔凈的呢?下面我們因組裝式潔凈室為例為您具體介紹分析。

 

半導體在生產過程中大的污染源就是從潔凈室外部進入潔凈室內的人流與物流污染,所以組裝式潔凈室在進口處配備了風淋室。風淋室的作用是去除人員及貨物上的塵埃顆粒、毛屑等污染源,組裝式潔凈室內部安裝了FFU風機過濾機組,進行潔凈新風的輸送。這兩大硬件凈化設備一為組裝式潔凈室阻絕了污染源,二為組裝式潔凈室提供了潔凈空氣,可以說是組裝式潔凈室的主要構成。


在半導體芯片的生產規(guī)程中、機器的運轉,人員的走動也會產生或帶動污染物的流轉,組裝式潔凈室還要設計一定的氣流組織確保被污染的空氣不會向潔凈區(qū)流轉。組裝式潔凈室的風機過濾機組布置在頂棚,空氣斷面上的流速比較均勻,而使氣流流向單向平行,靠推出的作用將室內臟空氣沿整個斷面排至架空地板或側墻下部設的回風口再回至循環(huán)風機,這種上送下回或上送下側回的氣流流型可以使污染空氣快速排出室外而不會交叉污染到組裝式潔凈室內其它工作區(qū)域。

 

另外,組裝式潔凈室的智能實時監(jiān)測系統與傳統潔凈室相比在潔凈度維護上面更為簡便智能。組裝式潔凈室內安裝的傳感器將檢測數值直接以數字形式顯示在智能控制屏上,智能系統控制會判斷塵埃顆粒及溫濕度是否在標準范圍之內,超出則會控制FFU、空調等設備進行自動調節(jié),使之恢復到規(guī)定范圍之內。

經過以上介紹,相信你已經對組裝式潔凈室與半導體行業(yè)的相互關系有了一定的了解。中國半導體行業(yè)目前正在遭受沖擊,這也從側面反映了技術與設計的重要性,中國半導體行業(yè)還有很長的路要走。組裝式潔凈室與半導體息息相關,榮辱與共,未來也將攜手為伍,一起突破前路上的艱難險阻,臨難不避,贏得未來!

 

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